L'uso del tampone per lucidatura
2022/05/19
1. Il liquido di lucidatura viene trasportato in modo efficace e uniforme in diverse aree del
tampone di lucidatura
.
2. Dopo la lucidatura, la reazione chimica viene eseguita completamente e i reagenti e i detriti vengono scaricati senza problemi e si ottiene l'effetto di rimozione.
3. Mantenere il film liquido lucidato sulla superficie del tampone per lucidatura in modo che la reazione chimica sia completamente eseguita.
4. Mantenere il processo di lucidatura regolare, la superficie non è deformata, al fine di ottenere una migliore topografia della superficie del wafer.
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